Samsung installeerde in maart van dit jaar zijn eerste EUV-apparatuur (extreme ultraviolette lithografie) met hoge numerieke apertuur (High-NA) voor de productie van 1,4 nm-chips, en zal naar verwachting door middel van tariefverlagingen beter kunnen concurreren met Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. (TSMC). Wanneer Samsung sub-2nm-wafers ontwikkelt en uiteindelijk in massa produceert, is de aanschaf van EUV-apparatuur met een hoge NA van ASML een dure investering, die ongeveer 400 miljoen dollar per apparaat kost. Maar om te kunnen concurreren met TSMC, de grootste rivaal in de halfgeleiderindustrie, moet Samsung dit risico dragen.
Om Samsung te helpen de transitie soepel te laten verlopen, zou de Zuid-Koreaanse regering van plan zijn de tarieven op geïmporteerde gerelateerde apparatuur af te schaffen. Tegelijkertijd heeft Samsung ook actie ondernomen en in maart hoge NA EUV-apparatuur geïnstalleerd voor zijn 1,4 nm-productielijn.
Om de productie van 2 nm GAA-chips te versnellen, werd eerder gemeld dat Samsung meer bestellingen heeft geplaatst voor EUV-apparatuur met een hoge NA. Hoewel er eerdere geruchten waren dat Samsung de ontwikkeling van het 1,4 nm-proces heeft geannuleerd, lijkt het bedrijf de opbrengstproblemen van het 2 nm GAA-knooppunt te hebben overwonnen, en de Exynos 2600-chip zal naar verwachting later dit jaar in massaproductie gaan. Zodra Samsung bewijst dat zijn nieuwe generatieproces dezelfde prestaties kan leveren als de 2nm-architectuur van TSMC en efficiënt in massa kan worden geproduceerd, gaan ze de volgende fase in en beginnen ze klantorders te accepteren.
Om dit doel te bereiken meldde het Korean Economic News dat de Koreaanse regering de tarieven op gerelateerde geïmporteerde goederen tot nul zal verlagen om het concurrentievermogen te vergroten. Gezien het feit dat de eenheidsprijs van EUV-apparatuur met een hoge NA wel 400 miljoen dollar bedraagt, is deze zelfs zonder tarieven al erg duur. Als Samsung op technische kracht wil concurreren met TSMC, moeten de totale kosten omlaag.
De EUV-apparatuur die momenteel wordt gebruikt voor de productie van 1,4 nm is de EXE:5000 die Samsung eerder dit jaar van ASML heeft gekocht en in de Hwaseong-fabriek is geïnstalleerd. Hoewel Samsung zich momenteel concentreert op de productielijn van 2 nanometer, geven rapporten aan dat het bedrijf van plan is om in 2027 te beginnen met de grootschalige massaproductie van 1,4-nanometerchips, waarbij het ernaar streeft het komende jaar een voorsprong op TSMC te verwerven.